Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) (formerly: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems) (JM3)
| Verfügbarkeit: | nicht zugänglich |
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| Homepage(s): | |
| Volltext online seit: | Jg. 1 (2002) |
| Verlag: | SPIE |
| ZDB Nummer: | 3056313-6 |
| Fachgruppe(n): | |
| Schlagwort(e): | Mikroelektronik |
| E-ISSN(s): | 1932-5134, 2708-8340 |
| P-ISSN(s): | 1932-5150 |
| Form: | Volltext, Online und Druckausgabe |
| Kosten: | kostenpflichtig |
| Bemerkung: | 1.2002 - 5.2006 u.d.T.: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. |
| Liste der teilnehmenden Institutionen, die Volltextzugriff bieten. |
