Verfügbarkeit:
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nicht zugänglich
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Homepage(s):
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Volltext online seit:
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Jg. 1
, H. 1
(1983)
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Verlag:
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American Vacuum Society (AVS)
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ZDB Nummer:
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3117331-7
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Fachgruppe(n):
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Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik, Physik
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Schlagwort(e):
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Vakuumtechnik; Halbleitertechnologie
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E-ISSN(s):
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2166-2754
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P-ISSN(s):
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0734-211X, 1071-1023, 2166-2746
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Form:
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Volltext, Online und Druckausgabe
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Kosten:
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kostenpflichtig
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Bemerkung:
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Hervorgegangen aus: Journal of Vacuum Science and Technology (0022-5355)
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Liste der teilnehmenden Institutionen, die Volltextzugriff bieten.
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