Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B: Nanotechnology and Microelectronics

Verfügbarkeit: nicht zugänglich
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Volltext online seit: Jg. 1 , H. 1 (1983)
Verlag: American Vacuum Society (AVS)
ZDB Nummer: 3117331-7
Fachgruppe(n): Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik, Physik
Schlagwort(e): Vakuumtechnik; Halbleitertechnologie
E-ISSN(s): 2166-2754
P-ISSN(s): 0734-211X, 1071-1023, 2166-2746
Form: Volltext, Online und Druckausgabe
Kosten: kostenpflichtig
Bemerkung: Hervorgegangen aus: Journal of Vacuum Science and Technology (0022-5355)
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